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发明名称 METHOD OF CUTTING MONOCRYSTAL INGOTS
摘要
申请公布号 SU1314400(A1) 申请公布日期 1987.05.30
申请号 SU19853909697 申请日期 1985.06.13
申请人 MO I ELEKTRONNOJ TEKHNIKI 发明人 GULIDOV DMITRIJ N,SU;KHARLAMOV VITALIJ YU,SU;EJDELMAN BORIS L,SU;ZVEROLOVLEV VLADIMIR M,SU;PRIKHODKO VLADIMIR L,SU;SHCHURKIN YURIJ V,SU
分类号 H01L21/302;B24D5/12 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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