COMPONENT OPERATED BY GUIDED ACOUSTIC WAVES

摘要

Es wird ein mit geführten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement angegeben, das ein zur Wellenleitung geeignetes Schichtsystem (9) umfasst. Das Schichtsystem (9) umfasst eine piezoelektrische Schicht (1), darauf angeordnete Elektroden (3) und eine dielektrische Schicht (2), die eine relativ niedrige akustische Impedanz Z<SUB>a0</SUB> aufweist. Das Schichtsystem (9) umfasst zudem eine Einstellschicht (32, 51) mit einer relativ hohen akustischen Impedanz Z<SUB>a2</SUB> mit Z<SUB>a2</SUB>/Z<SUB>a0</SUB> > 1,5, die in mindestens einem Abstandsbereich (55) von der piezoelektrischen Schicht (1) beabstandet ist.