RADIO FREQUENCY POWER PURGE METHOD ON PLASMA CHAMBER,申请号KR20020053621-传众专利搜索

发明名称	RADIO FREQUENCY POWER PURGE METHOD ON PLASMA CHAMBER
摘要
申请公布号	KR100724214(B1)	申请公布日期	2007.05.31
申请号	KR20020053621	申请日期	2002.09.05
申请人		发明人
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
地址