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发明名称 ACCELERATED ION IMPLANTER USING LASER PLASMA BEAM AND PULSE SHOCK WAVE
摘要
申请公布号 KR20070055674(A) 申请公布日期 2007.05.31
申请号 KR20050113917 申请日期 2005.11.28
申请人 KIM, CHANG GEUN 发明人 KIM, CHANG GEUN
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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