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发明名称 SELF-ALIGNED CONTACT WINDOW FORMATION IN AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP0200372(A3) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 EP19860302402 申请日期 1986.04.01
申请人 INMOS CORPORATION 发明人 HEATH, BARBARA A.
分类号 H01L29/78;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/31 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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