发明名称 DIAPHRAGM ARRANGEMENT FOR A VACUUM MEASUREMENT CELL
摘要 <p>Eine Blendenanordnung für eine Vakuummesszelle (15) umfasst ein rohrförmiges Blendengehäuse (14) welches eine Blende (20) umgibt, und dieses eine Ausgangsöffnung (16) zur Verbindung mit einer Vakuummesszelle (15) und eine Anschlussöffnung (22) zur Verbindung mit dem zu messenden Objektraum aufweist und dass die Blende (20) zwischen den beiden Öffnungen (16, 22) angeordnet ist, ist und die Blende (20) als Schraubenblende mit spiralförmigen Windungen (21) ausgebildet ist, wobei dessen Gewindeflanke im Aussendurchmesser an der Innenwandung des Blendengehäuse (14) anliegt, derart dass eine Gasdurchströmung zwischen dem Aussendurchmesser der Gewindeflanke und der Innenwandung gehemmt wird und diese im wesentlichen in den spiralförmigen Gewindegang gezwungen wird und dass die Ausgangsöffnung (16) auf der einen Seite des Rohrstück (14) ist und die Anschlussöffnung (22) auf der anderen gegenüber liegenden Seite und die Schraubenblende (20) derart ausgebildet ist, dass in axialer Blickrichtung die Blendenanordnung (25) zwischen den beiden Öffnungen (16, 22) optisch dicht ist.</p>
申请公布号 WO2007059640(A1) 申请公布日期 2007.05.31
申请号 WO2006CH00637 申请日期 2006.11.13
申请人 INFICON GMBH;BJOERKMAN, PER;WAELCHLI, URS;HANSELMANN, HANSJAKOB;DURIS, STANISLAV;WUEEST, MARTIN 发明人 BJOERKMAN, PER;WAELCHLI, URS;HANSELMANN, HANSJAKOB;DURIS, STANISLAV;WUEEST, MARTIN
分类号 G01L19/00;C23C14/54;G01L7/08;G01L9/00 主分类号 G01L19/00
代理机构 代理人
主权项
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