发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN TAKTVERTEILUNG IN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG
摘要
申请公布号 DE69835238(T2) 申请公布日期 2007.05.31
申请号 DE1998635238T 申请日期 1998.04.13
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 RAO, R.
分类号 H01L27/15;H01S3/098;G02B6/43;G06F1/10;H01L;H01L31/12;H01L31/153;H01L31/167;H01L33/00;H01S3/10 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
地址