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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN TAKTVERTEILUNG IN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG
摘要
申请公布号
DE69835238(T2)
申请公布日期
2007.05.31
申请号
DE1998635238T
申请日期
1998.04.13
申请人
INTEL CORPORATION
发明人
RAO, R.
分类号
H01L27/15;H01S3/098;G02B6/43;G06F1/10;H01L;H01L31/12;H01L31/153;H01L31/167;H01L33/00;H01S3/10
主分类号
H01L27/15
代理机构
代理人
主权项
地址
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