SEPARATING DEVICE FOR PROCESS CHAMBERS OF VACUUM COATING INSTALLATIONS AND VACUUM COATING INSTALLATION

摘要

Die Erfindung betrifft eine Trenneinrichtung für Prozesskammern von Vakuumbeschichtungsanlagen und eine Vakuumbeschichtungsanlage, bei denen eine Trennung der Prozessatmosphären benachbarter Prozesskammern auf einfache und kostengünstige Weise möglich ist und das Belüften einer Prozesskammer möglich ist, während in der benachbarten Prozesskammer die dort herrschende Prozessatmosphäre aufrechterhalten wird. Die erfindungsgemäße Trenneinrichtung für hintereinander angeordnete Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten flächiger Substrate umfasst ein zwischen zwei Prozesskammern quer zur Transportrichtung der Substrate anbringbares Trennelement mit einer im Bereich der Transportebene des Substrats angeordneten, durch mindestens eine im Trennelement vorgesehene Durchtrittsöffnung gebildeten Passage für das Substrat und ist dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein die Passage wahlweise verschließender oder freigebender Verschluss vorgesehen ist. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass weiterhin eine aus Zwischenkammeraußenwänden gebildete Zwischenkammer vorgesehen ist und das Trennelement innerhalb der Zwischenkammer angeordnet ist und die Zwischenkammer in zwei Zwischenkammersegmente unterteilt. Bei dieser Ausgestaltung bildet die erfindungsgemäße Trenneinrichtung eine eigene Kammer, die zwischen zwei benachbarten Prozesskammern angeordnet werden kann.