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发明名称 PROCESS FOR DEPOSITING FILM, PROCESS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND SYSTEM FOR DEPOSITING FILM
摘要
申请公布号 KR100724181(B1) 申请公布日期 2007.05.31
申请号 KR20057024111 申请日期 2005.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/285;H01L21/768 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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