发明名称 METHOD OF INSPECTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20070055737(A) 申请公布日期 2007.05.31
申请号 KR20050114072 申请日期 2005.11.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SANG HOON;PARK, DONG JIN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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