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经营范围
发明名称
METHOD OF INSPECTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20070055737(A)
申请公布日期
2007.05.31
申请号
KR20050114072
申请日期
2005.11.28
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, SANG HOON;PARK, DONG JIN
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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