发明名称 Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
摘要
申请公布号 DE60120282(T2) 申请公布日期 2007.05.31
申请号 DE20016020282T 申请日期 2001.07.03
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 KRIKKE, JAN JAAP;EURLINGS, MARKUS FRANCISCUS ANTONIUS;HOEGEE, JAN;VAN DER VEEN, PAUL
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址