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经营范围
发明名称
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
摘要
申请公布号
DE60120282(T2)
申请公布日期
2007.05.31
申请号
DE20016020282T
申请日期
2001.07.03
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
KRIKKE, JAN JAAP;EURLINGS, MARKUS FRANCISCUS ANTONIUS;HOEGEE, JAN;VAN DER VEEN, PAUL
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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