| 发明名称 | 隔膜支撑盘 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种隔膜支撑盘，其形状为圆盘形，所述隔膜支撑盘内部有多个与圆盘表面垂直的通孔，所述隔膜支撑盘的下表面设有一层隔膜支撑盘垫片，所述垫片下侧还有一层隔膜，所述隔膜向上延伸，包围隔膜支撑盘的侧面，所述圆盘的圆心处有一凸起部分。本发明通过在隔膜支撑盘的圆心处设一凸起部分，使得位于中心位置的硅片的研磨效果大大提高，从而改善了硅片研磨不均匀的问题，而且本发明结构简单，容易实现，在不提高成本的情况下提高了产品的生产效率和产品质量。 | ||
| 申请公布号 | CN1970228A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200510110603.8 | 申请日期 | 2005.11.22 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 蔡晨 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01);B24B29/02(2006.01) | 主分类号 | B24B37/04(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁纪铁 |
| 主权项 | 1.一种隔膜支撑盘，其形状为圆盘形，所述隔膜支撑盘内部有多个与圆盘表面垂直的通孔，所述隔膜支撑盘的下表面设有一层隔膜支撑盘垫片，所述垫片下侧还有一层隔膜，所述隔膜向上延伸，包围隔膜支撑盘的侧面，其特征在于，所述圆盘的圆心处有一凸起部分。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 | ||