适合于酸生成剂的盐和含有该盐的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A⁺表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种式(I)的盐：其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且所述单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；并且A+表示有机抗衡离子。