发明名称 ROTATION COMPENSATOR TYPE SINGLE ARM ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 KR20070054936(A) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 KR20050113073 申请日期 2005.11.24
申请人 AN, IL SIN;OH, HYE KEUN 发明人 OH, HYE KEUN;AN, IL SIN;CHEON, HYUK NYEONG;KYOUNG, JAI SUN
分类号 G01J4/00 主分类号 G01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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