发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING A FERROELECTRIC CAPACITOR
摘要
申请公布号 KR20070054895(A) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 KR20050112991 申请日期 2005.11.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HEO, JANG EUN;YOO, DONG CHUL;BAE, BYOUNG JAE;NAM, SANG DON;LIM, JI EUN;IM, DONG HYUN;CHOI, SUK HUN
分类号 H01L27/108;H01L27/10 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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