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发明名称 FERROELECTRIC MEMORY DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND HYBRID DEVICE
摘要
申请公布号 EP1263048(B1) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 EP20010956992 申请日期 2001.08.21
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 HASEGAWA, KAZUMASA;NATORI, EIJI;NISHIKAWA, TAKAO;OGUCHI, KOICHI;SHIMODA, TATSUYA
分类号 H01L27/10;G11C11/22;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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