| 发明名称 | 快速晶片定向传感器装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种快速晶片定向传感器装置，该装置包括定向传感器、传感器固定架、基座，其中定向传感器固定在传感器固定架上，传感器固定架安装在基座上，可在基座上水平移动。所述定向传感器由光幕发射端、光幕接收端以及传感器控制器组成。该装置可以实现100mm到200mm晶片的晶片定向检测，满足晶片离子掺杂工艺的要求。 | ||
| 申请公布号 | CN2906919Y | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200620008174.3 | 申请日期 | 2006.03.17 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 许波涛;郭健辉;易文杰;伍三忠 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曾永珠 |
| 主权项 | 1.一种快速晶片定向传感器装置，其特征在于：包括定向传感器、传感器固定架、基座，其中定向传感器固定在传感器固定架上，传感器固定架安装在基座上，可在基座上水平移动。 | ||
| 地址 | 100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段 | ||