发明名称 | 用于制备氧化硅或氧化硅系膜所用的溶胶组合物 | ||
摘要 | 本发明涉及一种在基体上制备氧化硅或氧化硅系混合氧化物玻璃膜的溶胶—凝胶方法,所得膜的厚度大于1微米,通常在2~20微米之间,其特点是不存在缺陷,而且证明特别适于作为平面光学设备的波导管。 | ||
申请公布号 | CN1318299C | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
申请号 | CN200410085594.7 | 申请日期 | 1999.09.06 |
申请人 | 诺瓦拉技术股份有限公司 | 发明人 | 洛伦佐·科斯塔;彼尔·保罗·科斯塔;斯特凡尼亚·格兰迪 |
分类号 | C01B33/12(2006.01);C23C18/12(2006.01) | 主分类号 | C01B33/12(2006.01) |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 过晓东 |
主权项 | 1、用于制备厚度大于1微米的氧化硅或氧化硅系膜所用的溶胶组合物,其包括以下相:·制备包括可溶性硅前体物的溶胶:;·相对于每摩尔的所说前体物,至少10摩尔的H2O;以及·能够使所述至少一种可溶性前体物水解的酸,该酸的浓度为0.03~0.5N。 | ||
地址 | 意大利诺瓦拉 |