| 发明名称 |
Silica glass optical material for excimer laser and excimer lamp, and method for producing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1094040(B8) |
申请公布日期 |
2007.05.30 |
| 申请号 |
EP20000122418 |
申请日期 |
2000.10.13 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. |
发明人 |
YAMAGATA, SHIGERU, DR. |
| 分类号 |
C03B8/04;C03C3/06;C03B19/14;C03B20/00;C03C4/00;G02B1/00;G03F7/20 |
主分类号 |
C03B8/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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