用于光学波导和光学器件的耦合结构及利用此结构的光学校准方法

摘要

本发明提供一种用于耦合光学波导和光学器件的耦合结构。所述耦合结构使得能够精确地校准所述光学波导和所述光学器件，以使光学校准误差能够被减小到几个微米的范围之内。所述耦合结构包括：第一基片，至少一个形成于所述第一基片上用以传递光学信号的光学波导，在所述第一基片上相对于所述光学波导对称地排列的光学校准虚设波导，粘结在所述第一基片上的第二基片，至少一个安装在所述第二基片的背面上并光学连接到所述光学波导上的光学器件，形成于所述第二基片的底面上对应于所述光学校准虚设波导的光学校准图案，其中用于所述光学波导和所述光学器件的光学校准是通过将所述光学校准虚设波导相对于所述光学校准图案进行校准来实现的。

主权项

1.一种用于耦合光学波导和光学器件的装置，其包括：第一基片；至少一个形成在所述第一基片上用于传输光学信号的光学波导；在所述第一基片上相对于所述光学波导对称地配置的虚设波导；耦合到所述第一基片上的第二基片；至少一个安装在所述第二基片的底面上的光学器件，以使所述光学器件光学连接到所述光学波导上；和形成于第二基片的底面上对应于所述虚设波导的光学校准图案，其中所述光学波导和光学器件的光学校准，是通过将所述虚设波导相对于所述光学校准图案进行校准来实现的。