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发明名称 METHOD OF FORMING STRAINED SILICON MATERIALS WITH IMPROVED THERMAL CONDUCTIVITY
摘要
申请公布号 EP1790003(A1) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 EP20050784302 申请日期 2005.08.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEDELL, STEPHEN, W.;CHEN, HUAJIE;FOGEL, KEITH;MITCHELL, RYAN, M.;SADANA, DEVENDRA, K.
分类号 H01L21/36;H01L21/02;H01L21/20;H01L31/117 主分类号 H01L21/36
代理机构 代理人
主权项
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