多批晶圆修改属性编号的方法

摘要

一种多批晶圆修改属性编号的方法，每一批晶圆具有一批号及第一属性编号，该方法是先写入需修改属性编号的该批号、第一属性编号及一第二属性编号成为文字数据，以分批读取该批号、第一及第二属性编号方式，修改该第一属性编号成该第二属性编号，系统依照传回讯息判断属性是否修改成功，若失败则将该笔数据写入一暂存盘，当文字数据处理完毕后系统可将暂存盘当作文字数据再次重新处理所有失败的数据，如此重复执行直到暂存盘内没有数据为止。

主权项

1.一种多批晶圆修改属性编号的方法，每一批晶圆具有一批号及第一属性编号，该方法包括下列步骤：A.写入需修改属性编号的该批号、第一属性编号及一第二属性编号成为文字数据；B.分批读取该文字数据内的一个该批号、第一及第二属性编号；C.修改该第一属性编号成该第二属性编号；D.在一参考时间后侦测该批号是否完成修改属性编号；E.若未完成修改，则写入该批号、第一及第二属性编号成修改文字数据，重复B到D步骤；F.若完成修改，则重复B到E步骤以修改该多批晶圆属性编号。