发明名称 薄膜式探针卡
摘要 本发明是一种薄膜式探针卡,是于一板体表面设有复数条导线,且于每一导线上设置至少一与该导线电性导通的薄膜探针,另于各该探针的附近以相隔一间距的方式,设置有复数个弹性体,该弹性体用以吸收探针卡于检测时所承受的接触力道,据此以降低探针被磨耗的程度而延长探针卡的使用寿命。
申请公布号 CN1971288A 申请公布日期 2007.05.30
申请号 CN200510124838.2 申请日期 2005.11.22
申请人 胜华科技股份有限公司 发明人 王志源;张恒毅
分类号 G01R1/073(2006.01);G01R31/00(2006.01);G02F1/13(2006.01);G01M11/00(2006.01) 主分类号 G01R1/073(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1.一种探针卡,其特征在于,包含:一基板;复数个探针,是分布于该基板表面;复数个弹性体,分布于该基板表面,该弹性体相邻于该探针且与邻近的探针之间隔有一间距。
地址 台湾省台中县