发明名称 | 薄膜式探针卡 | ||
摘要 | 本发明是一种薄膜式探针卡,是于一板体表面设有复数条导线,且于每一导线上设置至少一与该导线电性导通的薄膜探针,另于各该探针的附近以相隔一间距的方式,设置有复数个弹性体,该弹性体用以吸收探针卡于检测时所承受的接触力道,据此以降低探针被磨耗的程度而延长探针卡的使用寿命。 | ||
申请公布号 | CN1971288A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
申请号 | CN200510124838.2 | 申请日期 | 2005.11.22 |
申请人 | 胜华科技股份有限公司 | 发明人 | 王志源;张恒毅 |
分类号 | G01R1/073(2006.01);G01R31/00(2006.01);G02F1/13(2006.01);G01M11/00(2006.01) | 主分类号 | G01R1/073(2006.01) |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
主权项 | 1.一种探针卡,其特征在于,包含:一基板;复数个探针,是分布于该基板表面;复数个弹性体,分布于该基板表面,该弹性体相邻于该探针且与邻近的探针之间隔有一间距。 | ||
地址 | 台湾省台中县 |