发明名称 | 无尘室气体整流装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种无尘室气体整流装置,其在无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱,可增强气体垂直层流效果,且结构简单,成本低,节省能源。 | ||
申请公布号 | CN1971151A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
申请号 | CN200510016342.3 | 申请日期 | 2005.11.23 |
申请人 | 郭智雄 | 发明人 | 郭智雄 |
分类号 | F24F3/16(2006.01);F24F13/06(2006.01) | 主分类号 | F24F3/16(2006.01) |
代理机构 | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 胡婉明 |
主权项 | 1、一种无尘室气体整流装置,其特征在于,无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。 | ||
地址 | 中国台湾 |