发明名称 无尘室气体整流装置
摘要 本发明提供一种无尘室气体整流装置,其在无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱,可增强气体垂直层流效果,且结构简单,成本低,节省能源。
申请公布号 CN1971151A 申请公布日期 2007.05.30
申请号 CN200510016342.3 申请日期 2005.11.23
申请人 郭智雄 发明人 郭智雄
分类号 F24F3/16(2006.01);F24F13/06(2006.01) 主分类号 F24F3/16(2006.01)
代理机构 天津三元专利商标代理有限责任公司 代理人 胡婉明
主权项 1、一种无尘室气体整流装置,其特征在于,无尘室的天花板下方相隔预定距离,架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层,使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。
地址 中国台湾