| 发明名称 | 用于粒子光学装置中的色差校正的校正器 | ||
| 摘要 | 本发明描述了在诸如SEM或TEM这些粒子透镜中用来校正色差的校正器。为了降低对这种校正器的电源稳定性的要求，粒子射束通过该校正器所具有的能量低于粒子射束通过被校正的透镜所具有的能量。 | ||
| 申请公布号 | CN1971836A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200610171931.3 | 申请日期 | 2006.11.02 |
| 申请人 | FEI公司 | 发明人 | A·亨斯特拉;M·R·舍恩芬 |
| 分类号 | H01J37/153(2006.01) | 主分类号 | H01J37/153(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王庆海;张志醒 |
| 主权项 | 1、一种被设置为用来聚焦带电粒子束的粒子光学装置，包括：产生射束的粒子源；聚焦射束的粒子光学透镜；和校正出现在透镜中的色透镜误差的校正器，其特征在于：射束通过校正器中的至少一部分所具有的能量低于通过透镜所具有的能量。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||