石英器件和石英器件的制造方法

摘要

本发明的目的是提供振动特性稳定、可靠性高、高精度的石英器件。石英器件的特征在于：在石英片上构成在一个平面内包含基部的一部分和振动脚的一部分的第1主面和在一个平面内包含基部的另一部分和振动脚的另一部分的第2主面，第1主面的外形形状与第2主面的外形形状不同。通过使用不同的掩模图案进行曝光以形成掩模层图案，通过利用所形成的掩模层图案刻蚀石英基板，可形成第1主面和第2主面的形状。

主权项

1.一种石英器件，具有包含基部和从上述基部突出形成的振动脚的石英片，其特征在于：在上述石英片上构成有在一个平面内包含上述基部的一部分和上述振动脚的一部分的第1主面以及在一个平面内包含上述基部的另一部分和上述振动脚的另一部分的第2主面，上述第1主面的外形形状与上述第2主面的外形形状不同。