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发明名称 CLEANING APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR20070054944(A) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 KR20050113087 申请日期 2005.11.24
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 HAN, SEOK KU
分类号 H01L21/304;G02F1/13 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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