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发明名称 PLASMA UNIFORMITY CONTROL BY GAS DIFFUSER CURVATURE
摘要
申请公布号 EP1789605(A2) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 EP20050764564 申请日期 2005.07.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHOI, SOO, YOUNG;PARK, BEOM, SOO;WHITE, JOHN, M.;TINER, ROBIN, L.
分类号 C23C16/455;C23C16/509 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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