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发明名称 METHOD OF DETECTING A DEFECT
摘要
申请公布号 KR20070054289(A) 申请公布日期 2007.05.29
申请号 KR20050112126 申请日期 2005.11.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, YOUNG SUK;LIM, JUNG TAEK;JUN, CHUNG SAM;JEE, YUN JUNG
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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