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发明名称 THERMAL PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20070054436(A) 申请公布日期 2007.05.29
申请号 KR20050112427 申请日期 2005.11.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JANG, JIN SU
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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