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发明名称 ETCHING APPARATUS HAVING VIEW PORT
摘要
申请公布号 KR20070054416(A) 申请公布日期 2007.05.29
申请号 KR20050112392 申请日期 2005.11.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 NAM, SANG DEUK
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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