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经营范围
发明名称
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION REACTOR AND PROCESS CHAMBER FOR SAID REACTOR
摘要
申请公布号
KR100722592(B1)
申请公布日期
2007.05.28
申请号
KR20027006201
申请日期
2002.05.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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