CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE NEGATIVE-WORKING RESIST COMPOSITION FOR ELECTRON RAYS OR X-RAYS,申请号KR20010002409-传众专利搜索

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发明名称	CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE NEGATIVE-WORKING RESIST COMPOSITION FOR ELECTRON RAYS OR X-RAYS
摘要
申请公布号	KR100721788(B1)	申请公布日期	2007.05.25
申请号	KR20010002409	申请日期	2001.01.16
申请人		发明人
分类号	G03F7/004;C08F12/22;C08K5/00;C08L25/18;G03F7/038;H01L21/027	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
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