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发明名称
ARRANGEMENT IMPROVING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH04160570(A)
申请公布日期
1992.06.03
申请号
JP19900286112
申请日期
1990.10.24
申请人
NEC CORP
发明人
TAWADA SHIGEYOSHI
分类号
H01L27/118;G06F17/50;H01L21/82
主分类号
H01L27/118
代理机构
代理人
主权项
地址
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