发明名称 APPARATUS FOR PREVENTING PRESSURE VARIATION OF CIRCULAR WATER IN SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070053433(A) 申请公布日期 2007.05.25
申请号 KR20050111218 申请日期 2005.11.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, DAE HO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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