发明名称 SALT SUITABLE FOR AN ACID GENERATOR AND A CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070053619(A) 申请公布日期 2007.05.25
申请号 KR20060114104 申请日期 2006.11.17
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD. 发明人 YAMAGUCHI SATOSHI;HARADA YUKAKO;YOSHIDA ISAO
分类号 C07C309/65;C07C309/74;C07C321/24 主分类号 C07C309/65
代理机构 代理人
主权项
地址