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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATES DURING ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING
摘要
申请公布号 KR20070053610(A) 申请公布日期 2007.05.25
申请号 KR20060106686 申请日期 2006.10.31
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 RICE MICHAEL;CRAVALHO NICHOLAS;BRODINE JEFFREY A.
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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