发明名称 MOBILE LEAK DETECTOR WITH FLUSHING CONNECTION
摘要 <p>Ein mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen weist in einem tragbaren Gehäuse (10) ein in dem Gehäuse (10) vorgesehenes Anschlusseiement (22) zum Anschluss einer zu untersuchenden Vakuumeinrichtung auf. In dem Gehäuse ist eine Pumpeinrichtung (12, 14) vorgesehen, die mit dem Anschlusselement (22) fluidisch verbunden ist. Mit der Pumpeinrichtung (12, 14) ist eine Detektionseinrichtung (30) wie beispielsweise ein Massenspektrometer verbunden. Um eine Untergrundmedium wie Helium auszuspülen, weist das mobile Lecksuchgerät einen Spülanschluss (42) auf, über den eine gehäuseexterne Spüleinrichtung (44) angeschlossen werden kann.</p>
申请公布号 WO2007057359(A1) 申请公布日期 2007.05.24
申请号 WO2006EP68350 申请日期 2006.11.10
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;HOLSTEIN, GUENTER;STEPPUTAT, KLAUS 发明人 HOLSTEIN, GUENTER;STEPPUTAT, KLAUS
分类号 G01M3/20 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
地址