发明名称 |
MOBILE LEAK DETECTOR WITH FLUSHING CONNECTION |
摘要 |
<p>Ein mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen weist in einem tragbaren Gehäuse (10) ein in dem Gehäuse (10) vorgesehenes Anschlusseiement (22) zum Anschluss einer zu untersuchenden Vakuumeinrichtung auf. In dem Gehäuse ist eine Pumpeinrichtung (12, 14) vorgesehen, die mit dem Anschlusselement (22) fluidisch verbunden ist. Mit der Pumpeinrichtung (12, 14) ist eine Detektionseinrichtung (30) wie beispielsweise ein Massenspektrometer verbunden. Um eine Untergrundmedium wie Helium auszuspülen, weist das mobile Lecksuchgerät einen Spülanschluss (42) auf, über den eine gehäuseexterne Spüleinrichtung (44) angeschlossen werden kann.</p> |
申请公布号 |
WO2007057359(A1) |
申请公布日期 |
2007.05.24 |
申请号 |
WO2006EP68350 |
申请日期 |
2006.11.10 |
申请人 |
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;HOLSTEIN, GUENTER;STEPPUTAT, KLAUS |
发明人 |
HOLSTEIN, GUENTER;STEPPUTAT, KLAUS |
分类号 |
G01M3/20 |
主分类号 |
G01M3/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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