| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FINE PROBE AND MANUFACTURE AND MANUFACTURE OF CANTILEVER TYPE PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04326538(A) |
申请公布日期 |
1992.11.16 |
| 申请号 |
JP19910121725 |
申请日期 |
1991.04.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAMATSU OSAMU;YAGI TAKAYUKI;SHIMADA YASUHIRO;NAKAYAMA MASARU;HIRAI YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/302;G01Q60/16;G01Q70/06;G11B9/00;G11B9/14;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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