METHOD AND DEVICE FOR CHARACTERIZING A SAMPLE BY MEANS OF DOUBLE-BEAM LASER INTERFEROMETRY
摘要
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung für die Charakterisierung einer Probe mittels eines Doppelstrahl - Laserinterferometers. Als Probe wird beispielsweise eine dünne piezoelektrische Schicht untersucht, die auf einem Wafer, also auf einer kreisrunden dünnen, selbsttragenden Scheibe aufgebracht ist.</p>
申请公布号
WO2007057414(A1)
申请公布日期
2007.05.24
申请号
WO2006EP68501
申请日期
2006.11.15
申请人
AIXACCT SYSTEMS GMBH;SCHMITZ-KEMPEN, THORSTEN;REICHENBERG, BERND;PRUME, KLAUS;TIEDKE, STEPHAN
发明人
SCHMITZ-KEMPEN, THORSTEN;REICHENBERG, BERND;PRUME, KLAUS;TIEDKE, STEPHAN
