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发明名称
Resistmaterial und Verfahren zur Herstellung von Mustern
摘要
申请公布号
DE602005000462(T2)
申请公布日期
2007.05.24
申请号
DE20056000462T
申请日期
2005.05.03
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO. LTD.
发明人
KISHIMURA, SHINJI;ENDO, MASAYUKI;SASAGO, MASARU;UEDA, MITSURU;IMORI, HIROKAZU;FUKUHARA, TOSHIAKI
分类号
G03F7/039;G03F7/004
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
地址
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