发明名称 Mobiles Lecksuchegerät
摘要 Ein mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen weist in einem tragbaren Gehäuse (10) ein in dem Gehäuse (10) vorgesehenes Anschlusselement (22) zum Anschluss einer zu untersuchenden Vakuumeinrichtung auf. In dem Gehäuse ist eine Pumpeinrichtung (12, 14) vorgesehen, die mit dem Anschlusselement (22) fluidisch verbunden ist. Mit der Pumpeinrichtung (12, 14) ist eine Detektionseinrichtung (30) wie beispielsweise ein Massenspektrometer verbunden. Um ein Untergrundmedium wie Helium auszuspülen, weist das mobile Lecksuchegerät einen Spülanschluss (42) auf, über den eine gehäuseexterne Spüleinrichtung (44) angeschlossen werden kann.
申请公布号 DE102005054638(A1) 申请公布日期 2007.05.24
申请号 DE200510054638 申请日期 2005.11.16
申请人 LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 HOLSTEIN, GUENTER;STEPPUTAT, KLAUS
分类号 G01M3/02 主分类号 G01M3/02
代理机构 代理人
主权项
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