摘要 |
Ein mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen weist in einem tragbaren Gehäuse (10) ein in dem Gehäuse (10) vorgesehenes Anschlusselement (22) zum Anschluss einer zu untersuchenden Vakuumeinrichtung auf. In dem Gehäuse ist eine Pumpeinrichtung (12, 14) vorgesehen, die mit dem Anschlusselement (22) fluidisch verbunden ist. Mit der Pumpeinrichtung (12, 14) ist eine Detektionseinrichtung (30) wie beispielsweise ein Massenspektrometer verbunden. Um ein Untergrundmedium wie Helium auszuspülen, weist das mobile Lecksuchegerät einen Spülanschluss (42) auf, über den eine gehäuseexterne Spüleinrichtung (44) angeschlossen werden kann.
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