INTEGRIERTE NACHGIEBIGE SONDE FÜR WAFERPRÜFUNG UND EINBRENNEN,申请号DE19976037599-传众专利搜索

发明名称	INTEGRIERTE NACHGIEBIGE SONDE FÜR WAFERPRÜFUNG UND EINBRENNEN
摘要
申请公布号	DE69737599(D1)	申请公布日期	2007.05.24
申请号	DE19976037599	申请日期	1997.09.12
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.	发明人	BEAMAN, BRIAN SAMUEL;FOGEL, KEITH EDWARD;LAURO, PAUL ALFRED APARTMENT;SHIH, DA-YUAN
分类号	G01R1/073;G01R1/067;H01L21/66	主分类号	G01R1/073
代理机构		代理人
主权项
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