发明名称 METHODE ZUR REKONSTRUKTION VON TEILCHENWELLEN IN EINER TEILCHEN-OPTISCHEN VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69637015(D1) 申请公布日期 2007.05.24
申请号 DE19966037015 申请日期 1996.02.15
申请人 FEI CO. 发明人 COENE, WILLEM MARIE;JANSSEN, AUGUSTUS JOSEPHUS
分类号 G02B21/00;G01Q20/02;G01Q30/04;G02B7/38;G03F7/20;H01J37/22;H01J37/295 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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