发明名称 |
METHODE ZUR REKONSTRUKTION VON TEILCHENWELLEN IN EINER TEILCHEN-OPTISCHEN VORRICHTUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69637015(D1) |
申请公布日期 |
2007.05.24 |
申请号 |
DE19966037015 |
申请日期 |
1996.02.15 |
申请人 |
FEI CO. |
发明人 |
COENE, WILLEM MARIE;JANSSEN, AUGUSTUS JOSEPHUS |
分类号 |
G02B21/00;G01Q20/02;G01Q30/04;G02B7/38;G03F7/20;H01J37/22;H01J37/295 |
主分类号 |
G02B21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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