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发明名称 CLEANING PROCESS AND OPERATING PROCESS FOR A CVD REACTOR
摘要
申请公布号 EP1786949(A1) 申请公布日期 2007.05.23
申请号 EP20050776189 申请日期 2005.07.12
申请人 LPE SPA;E.T.C. EPITAXIAL TECHNOLOGY CENTER SRL 发明人 LEONE, STEFANO;MAUCERI, MARCO;ABBONDANZA, GIUSEPPE;CRIPPA, DANILO;VALENTE, GIANLUCA;MASI, MAURIZIO;PRETI, FRANCO
分类号 C23C16/32;C23C16/44 主分类号 C23C16/32
代理机构 代理人
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