| 发明名称 | 多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于显示器设备的多晶硅薄膜，该薄膜具有彼此不平行的相邻主晶粒间界，其中被主晶粒间界包围的面积大于1μm<SUP>2</SUP>，还公开了一种多晶硅薄膜的制造方法，以及用该方法制造的薄膜晶体管。 | ||
| 申请公布号 | CN1967779A | 申请公布日期 | 2007.05.23 |
| 申请号 | CN200610121897.9 | 申请日期 | 2004.02.05 |
| 申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 朴志容;朴惠香 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01);H01L21/268(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L21/00(2006.01);B23K26/073(2006.01) | 主分类号 | H01L21/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种制造用于显示器设备的多晶硅薄膜的方法，该方法包括使用一种包括线性激光传导图案和激光非传导图案相混合的激光传导区域的掩膜的激光使无定形硅结晶。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||