一种具有类金刚石碳复合层的模具

摘要

本发明涉及一种具有类金刚石碳复合层的模具，包括基材，及依次形成在基材上的第一层至第N+1层类金刚石碳复合层，其中，该N值为2～30；第一层至第N层为含有填充物的类金刚石碳层，该填充物摩尔百分含量渐进递减，且该填充物为金属或金属氮化物；第N+1层为纯类金刚石碳层。该具有类金刚石碳复合层的模具，其类金刚石碳复合层与基材有较高的结合力。

主权项

1.一种具有类金刚石碳复合层的模具，包括基材，及形成在基材上的类金刚石碳复合层，其特征在于，该类金刚石碳复合层从基材到外表面依次包括第一层至第N+1层，其第一层至第N层为含有填充物的类金刚石碳层，且各层的填充物摩尔百分含量渐进递减，该填充物为金属或金属氮化物；第N+1层为纯类金刚石碳层；该N值为2～30。