| 发明名称 |
HIGH RESOLUTION RESISTS FOR NEXT GENERATION LITHOGRAPHIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1377876(A4) |
申请公布日期 |
2007.05.23 |
| 申请号 |
EP20020723388 |
申请日期 |
2002.03.11 |
| 申请人 |
GONSALVES, KENNETH E.;UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHARLOTTE;THE UNIVERSITY OF CONNECTICUT |
发明人 |
GONSALVES, KENNETH, E. |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/725;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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