| 发明名称 | 用于定位产品的系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于定位产品的系统，其包括用于支撑该产品的卡盘(71)、支撑所述卡盘(71)的中间台(79)以及支撑所述中间台(79)的固定底座(72)。卡盘(71)能够相对于中间台(79)沿着第一方向X(80)移动，并且中间台(79)能够相对于所述固定底座沿着第二方向Y(81)移动。该系统还包括至少一个用于测量卡盘(71)相对于固定底座(72)的位置的激光干涉仪(73，74，75，76，77，78)。所述激光干涉仪的主要部件(73，74，75，76，77，78)被附着到所述中间台(79)，从而该主要部件能够测量卡盘(71)上的反射器(83，84，85)与固定底座(72)上的反射器(82，87)之间的距离。 | ||
| 申请公布号 | CN1969234A | 申请公布日期 | 2007.05.23 |
| 申请号 | CN200580004491.6 | 申请日期 | 2005.01.25 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | A·F·巴克 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G01B9/02(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;王勇 |
| 主权项 | 1.一种用于定位产品的系统，包括用于支撑该产品的卡盘(8；44；64；71；108)、支撑所述卡盘(8；44；64；71；108)的中间台(5；42；62；79；105)以及支撑所述中间台(5；42；62；79；105)的固定底座(7；41；61；72；107)，其中该卡盘(8；44；64；71；108)能够相对于该中间台(5；42；62；79；105)沿着第一方向X(9；45；65；80；109)移动，并且该中间台(5；42；62；79；105)能够相对于所述固定底座沿着第二方向Y(6；43；63；81；106)移动，此外该系统包括至少一个用于测量该卡盘(8；44；64；71；108)相对于该固定底座(7；41；61；72；107)的位置的激光干涉仪(47；68；73，74，75，76，77，78)，所述激光干涉仪的主要部件(47；68；73，74，75，76，77，78)被附着到所述中间台(5；42；62；79；105)，从而该主要部件能够测量该卡盘(8；44；64；71；108)上的反射器(10；49；67；83，84，85；110)与该固定底座(7；41；61；72；107)上的反射器(11；50；66；82，87)之间的距离。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||