发明名称 Method for fabrication of capacitor
摘要
申请公布号 KR100721579(B1) 申请公布日期 2007.05.23
申请号 KR20020086394 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/311;H01L21/768;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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